450度光刻膠固化無氧烤箱

450度高溫?zé)o氧烤箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)，由上海和呈儀器制造有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理。控制方便、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！

450度高溫?zé)o氧烤箱主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。

450度高溫?zé)o氧烤箱主要技術(shù)指標(biāo)
1、潔凈等級：Class100級
2、含氧量：<=20PPM
3、使用溫度：RT～400℃，可做溫度：450℃；
4、腔體數(shù)量:2個,上下布置；獨立控溫
5、爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶
6、空爐升溫時間：1.5h；
7.空爐降溫時間：375℃--80℃；降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風(fēng)冷)；
8.智能控制系統(tǒng)：日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

智能控制系統(tǒng)特點：
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權(quán)限分級管理，給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報警，事件等等數(shù)據(jù)查詢，記憶操作步驟，操作便捷
◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，數(shù)據(jù)記錄間隔5S；
◆ 工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
◆ 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
◆ 系統(tǒng)控制開/關(guān)門等動作；
◆ 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標(biāo)、門未關(guān)到位；
◆ 實施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù)，如，溫度，料件ID，工藝信息

工藝線標(biāo)準(zhǔn)
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、以每分鐘3-5℃的降溫速率，79min左右從375℃降到75℃




產(chǎn)品參考圖：